- [昀通科技動(dòng)態(tài)]【成都】昀通科技半導(dǎo)體紫外光固化機(jī)原理及特點(diǎn)[ 2017-11-28 13:57 ]
- 在半導(dǎo)體行業(yè)，常用紫外固化機(jī)對(duì)晶片進(jìn)行曝光。這種半導(dǎo)體紫外光固化機(jī)至少是由用來(lái)承載晶片的曝光鏡頭以及液體循環(huán)裝置構(gòu)成，其中液體循環(huán)裝置在曝光期間為曝光鏡頭與晶片之間供應(yīng)液體。其特征在于，半導(dǎo)體UVLED曝光前，UVLED利用至少一對(duì)準(zhǔn)光源對(duì)承載臺(tái)進(jìn)行一對(duì)準(zhǔn)操作，其中對(duì)準(zhǔn)光源具有一特定波長(zhǎng)，使液體揮發(fā)時(shí)對(duì)對(duì)準(zhǔn)光源的影響降至最低，以防止液體影響前述對(duì)準(zhǔn)操作。
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